Баллон для трифторида бора УВЧ 6N, 7N, 8N

Баллоны — трифторид бора по габаритам и прочностным характеристикам соответствуют:

ГОСТ 949-2023 для баллонов из легированной стали.

Сталь: 34CrMo4 / S316L.

Назначение: Баллоны для транспортировки и хранения специальных электронных газов (далее – СЭГ) для нужд микроэлектронной промышленности.

Внутренняя обработка баллона должна соответствовать маркировке UNIQUAL,

Которая включает в себя три этапа специальной внутренней подготовки поверхности баллона:

- Механическая полировка производится в соответствии с Sa3 - Абразивная струйная очистка до видимой чистой стали.

- Электрохимическая полировка производится до значений Ra не более 0,25 мкм.

- Специальная подготовка и сборка баллона:

- в среде с контролем частиц (менее 350 частиц размером более 0,2 мкм в 1 м3) с использованием высокочистых веществ: деионизованной воды, чистого сухого азота и/ или гелия.